新型QMEMS振蕩器將擠壓石英晶振和硅MEMS的空間

作者： 揚興晶振 日期：2021-09-23 瀏覽量：

  MEMS振蕩器采用集成電路工藝制造出機械振動器件，這樣可以被集成在硅芯片中。傳統(tǒng)的石英晶體需要切割和傾斜(beveling)加工，但體積可以做的更小，溫度漂移的適應性好，采用印刷技術的成本和功耗可以更低。

  聲稱已經(jīng)占據(jù)23%晶振市場份額日本愛普生拓優(yōu)科夢公司宣布他們采用類似半導體光刻工藝制造一種石英MEMS(QMEMS)，并保持在硅MEMS振蕩器市場的前列地位。(相關閱讀可以查詢YXC揚興官網(wǎng)《愛普生晶振工藝何謂QMEMS》)

  QMEMS的規(guī)格說明書顯示出與競爭的MEMS振蕩器(SiTime、Discera、Silicon Clock和Mobius微系統(tǒng)等公司的產(chǎn)品)相比性能差不多或更好。

  “傳統(tǒng)來說MEMS需要硅工藝，所以他們叫我們的產(chǎn)品QMEMS，因為我們采用石英，而不是硅，”愛普生拓優(yōu)科夢的Debbie Word表示，“我們用石英晶圓在類似半導體廠的工廠里面生產(chǎn)，采用光照、蝕刻、鍍膜和犧牲層去除的方法 - 與硅MEMS芯片的工藝差不多，但我們使用的是石英材料?！?/span>

  壓電石英晶體已經(jīng)成為標準，一旦在其中通過一個小電流，就可以產(chǎn)生設定頻率的振蕩。該振蕩頻率不受封裝內(nèi)的溫度改變的影響。石英是地球上資源豐富的壓電材料，通過精密的切割和傾斜，可以讓石英振蕩器得到需要的頻率。

  幾年前，愛普生采用光刻工藝生產(chǎn)了厚度在2毫米下的音叉共鳴器，這個是傳統(tǒng)的切割和傾斜工藝不能達到的。這個工藝用在了QMEMS振蕩器上，從而在規(guī)格上可以與硅MEMS振蕩器競爭。

  市場分析報告顯示對于OEM來說不會有什么改變?！癕EMS是可行的另一種非傳統(tǒng)的方案，因為可以在更低的價格提供增加的功能，”MEMS分析師RogerGrace表示，“工程師在尋找最好的可能的方案，如果QMEMS定時器芯片可以在最低的價格提供他們需要的功能，那該產(chǎn)品就會取得成功，不論采用何種生產(chǎn)工藝?！?/span>

  愛普生拓優(yōu)科夢還計劃采用QMEMS的工藝生產(chǎn)大氣壓力傳感器，并且已經(jīng)采用該工藝生產(chǎn)了超小(2* 2mm)陀螺儀，用于數(shù)碼相機的圖像穩(wěn)定防抖。

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